6. 結構物與隔間之氣密性。 （Clean Room）
「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。 （Clean Spot）
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
5. 有害氣體之排除。
（一）潔凈室之定義
潔凈室，亦稱為無塵室或清凈室。
2. 能防止微塵粒子之產生。
?。?）隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶、門。因產品和功課員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化出產線為最相宜使用。
潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其四周之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
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（五）潔凈室氣流之活動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之不亂效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很難題。另外若系統休止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相稱長一段時間。
一般操縱臺或出產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如斯可使功課職員工作時，氣流可從制程區內部流向功課區，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之后，功課員操縱所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。
?。?）潔凈管道（Clean Tube）：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必需利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之尺度化，M字母后之阿拉伯數量字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數量字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。速渡過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易； B.維修設備時可在維修區等閑執行。
?。?）照明用具：包括日光燈、黃色燈管等。
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3.復合式（Mixed Type）：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
垂直層流式方向要保持均一氣流必需：（a）吹出頭具名的風速不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。 （HEPA）
長處：構造簡樸、系統建造本錢，潔凈室之擴充比較輕易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，進步潔凈室等級。
10. 節能之考量。
潔凈室內的氣流是左右潔凈室機能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬輕風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖進步風速可按捺此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的進步，將影響運轉本錢的增加，所以應在知足要求的潔凈度水準之時，能以最適當的風速供給，以達到適當的風速供賜與達到經濟性效果。
美國聯邦尺度FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數尺度。日本尺度之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。此型式需將功課職員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。
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（二）潔凈室之等級
世界各國均有自定規格，但普遍仍是用美國聯邦尺度209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定尺度作先容與相互比較。亦等于不論外在之空氣前提如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能之特性。
?。?）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所
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產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。
?。?）并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
?。?）潔凈地道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%籠蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節省安裝運轉用度。
潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。 ?
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2.層流式： （Laminar）
層流式空氣氣流運動成一平均之直線形，空氣由籠蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式合用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。
4. 壓力之調節。
9. 安全因素之考慮。
?。?）地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但不管是何種構造，必需知足如下之前提：
A.不會因溫度變化與振動而發生裂縫；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性??；
D.為了維持室內之濕度前提，熱絕緣性要高；
