我國電子信息產業將持續發展,國內企業必須做好依靠精品工程獲取利潤的準備。由碧海永樂設計并建造的清溢TFT-LCD掩模版項目就是最好的例證。該項目潔凈室空氣潔凈度等級為1級(美聯邦標準FS209,相當于國際標準ISO3級)和10級(美聯邦標準FS209,相當于國際標準ISO4級),且面積達到800平方米。該工程不僅潔凈度要求較高,同時對溫度、相對濕度、防微振、防靜電等相關參數的要求也遠遠超出一般設計要求,對設計人員的設計水平是一個嚴峻的挑戰。
為了滿足高級別潔凈度的要求,在設計、建造過程中,碧海永樂堅持科技領先、創新工藝設計。針對空氣過濾,采用了空氣凈化系統6級過濾流程——— 初效、中效、化學、中效、高效、超高效(終端),實踐證明行之有效。在ISO3級和ISO 4級潔凈室,斷面風速采用0.35m/s,結果證明氣流組織合理。在項目設計、建設過程中,工程人員還引入了國際理念,在國內首次采用《潔凈室與相關受控環境》性能及合理性評價準則,對潔凈室的全過程進行控制,達到了預期效果。行業專家認為,該項目潔凈室HVAC系統(MAU+FFU+DC)合理可行。經美國專業公司采用國際標準測試,該項目潔凈室溫度、相對濕度、潔凈度、壓力梯度等潔凈室主要參數均達到TFT-LCD掩模版工藝生產要求。
中國潔凈室設計建造水平的掩模版制造考驗
2007年11月28日,備受國內外潔凈室建造界關注的“中國第一潔凈室”——— 清溢精密光電TFT掩模版項目正式竣工。這標志著我國1級、10級潔凈室設計建造不能完全獨立完成的歷史的結束,充分展示了我國潔凈室建設的超高水平。該項目是第一家由國內凈化公司獨立完成設計、施工的1級凈化項目,標志著我國已擁有國際潔凈室設計建造的最先進水平。 |