無塵室緩沖與隔離
無塵室的壓差控制是防止污染物滲入或逸出無塵室的重要措施，但是當需要的壓差值太大、不容易達到時，就要加設輔助設施。常用的輔助設施有緩沖室、氣閘室、氣幕室和風淋室。輔助設施也稱為緩沖設施，其作用是防止將室外污染物帶入室內，或者減少室內污染物發生量。當人或物從非潔凈區進入潔凈區時，應通過緩沖設施。
（1） 氣閘室 設置在無塵室出入口、阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制的小室叫氣閘室。氣閘室的幾個門，在同一時間內只能打開一個，這樣做是為了防止外部受污染的空氣流入潔凈室內。當兩側需要的壓差太大且難達到時，可以設置氣閘室。
（2） 緩沖室 緩沖室是位于潔凈室入口處的小室。同氣閘室一樣，緩沖室的幾個門，在同一時間內只能打開一個。
（3） 風淋室 風淋室利用噴嘴噴出的高速氣流使衣服抖動起來，從而把衣服表面沾的塵粒吹掉。它通常設置在潔凈室的人員入口處
（4） 傳遞窗 設置在不同級別的潔凈區，以及潔凈區和非潔凈區之間的隔墻上，可以防止兩潔凈區之間物體流經過非潔凈區時被污染。
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