電子工業空氣潔凈度等級
等 級
每立方米(每升)空氣中
≥0.5微米塵粒數
≥5微米塵粒數
100 級
≤35×100(3.5)
1000 級
≤35×1000(35)
≤250(0.25)
10000 級
≤35×10000(350)
≤2500(2.5)
100000 級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
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