電子工業潔凈室防靜電設施的要求
1潔凈室風淋室防靜電設施的施工,應能抑制或減少靜電的產生,或易于泄漏已產生的靜電
2主要適用于防靜電地面和管道系統部分防靜電設施的施工和驗收。防靜電地面施工除應符合規定外,還應符合本規范中其他有關規定。以及現行行業標準《防靜電地面施工及驗收規范》SJ31469的要求
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