在管系統上應設置吹除口
1.潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
2.和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防雷保護區內。
3.凈化設備應設在靠近用氣點處。
4.氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。
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