玷污控制技術
玷污控制技術包括對玷污物的控制技術和對污染的控制技術。
1、 玷污物
玷污物有以下幾種：
1） 空氣中的懸浮分子玷污物
2） 空氣中懸浮微粒（非生物性及生物性）
3） 病毒
4） 微震
5） 靜電
6） 生產工藝介質
1））高純工業氣體
2））特種氣體
3））高純水及高純化學品等的有關雜質
2、污染
污染包含直接污染和交叉污染
1） 靜坐時，人體每分鐘散發10萬個粒子（粒徑大于0.5微米）
2） 每天脫落6~13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5KG
3、玷污控制
對玷污進行控制主要包括：
1） 高純工業氣體、特種氣體、高純水及高純化學品的制取、運輸及純化。
2） 有關玷污物的檢測及監測
高純工業氣體、特種氣體、高純水及高純化學品的制取、運輸及純化需要在潔凈廠房的潔凈室風淋室進行。
