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  為什微電子工業要使用風淋室 

為什微電子工業要使用風淋室


為什微電子工業要使用風淋

 

  微電子工業是當前對潔凈室要求最高的行業。大規模和超大規模集成電路(LSI\VLSI)的發展,對微塵控制要求越來越高。風淋室特點

    1、采用更適合潔凈室原理的圓弧轉角,

  2、風淋室凈化級別:靜態千級;

  3、內底板為砂光不銹鋼板;

  4、風淋室有隔板高效過濾器,過濾效率為:99.99%0.5um,確保凈化級別;

  5、風淋室全自動紅外感應吹淋,進口AUTOnise紅外感應器,正泰中間繼電器,軟鍵觸按式時間繼電器,LED  顯示及設置吹淋時間,范圍在0-99s可調,吹淋時風淋室雙門自動鎖閉;平常只能打開其中一扇門,由入口進入潔凈區時紅外線感應后自動吹淋,由潔凈區出去時經過風淋室不吹淋以節省能源;

  6、風淋室配12個多角度可調全不銹鋼噴嘴,左右雙側吹淋;外轉子大風量低噪風淋室風機,面風速大于25m/s,確保能讓風吹到貨物上達到18m/s,符合國家標準;

  7、風淋室采用液晶時間顯示,風淋時間為0~99S可調,并顯示已風淋時間;

  8、采用獨特的空氣清新功能系統,對長期封閉的風淋室&風淋室通道內產生的異味進行切底的消除

 

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