半導體、集成電路生產的工業風淋室的特點
由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響產品品質量的一個突出問題。加工環境的潔凈度由多方面的因素決定，因素之一進入潔凈的人員，工作人員凈化設備為風淋室，風淋室是經高效過濾器過濾的潔凈空氣從噴嘴噴出，吹落工作服上的灰塵，含塵空氣經粗效過濾器被風機吸入，加壓后流過高效過濾器再從噴嘴噴出，如此循環。風淋室都裝有定時裝置，工作人員按壓啟動按鈕后，即可進入QS風淋室并關門吹淋，20~40s后風淋自動停止。
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資料整理青島圣潔凈化風淋門
