臭氧滅菌具有很多優點：高效性和廣譜性臭氧滅菌屬溶菌級。無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素，O3不只對各種細菌有極強的殺滅作用，對殺死霉菌也很有效。
臭氧主要應用于消毒滅菌(對空氣、物體和水)和污水處理它還有漂白、水脫色、除異味、參與工業氧化反應、
治療疾病等許多特別用途。綠色滅菌，無任何污染臭氧穩定性差，很快自行分解為氧氣和單個氧原子。單個
氧原子又自行結合為氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以稱無污染消毒滅菌劑。無死角臭氧為氣體，能迅
速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。消毒滅菌類型劃分消毒滅菌根據其作用原理可分為：抑菌如冰箱，
通過改變環境溫度抑制細菌生長，但細菌生存能力，適應能力很強，會很快適應并大量繁殖。殺菌如紫外
線、化學熏蒸，只能通過破壞細菌的外殼，使細菌死亡，而殘余在細菌體內部(寄生)病毒會快速繁殖。溶
菌如臭氧，能干凈完全地殺滅細菌和寄生的病毒，并且能將它溶解為菌絲，使細菌完全失去生命條件。
